半導体現場のチップ製造は、最も資本と技術を要する産業の一つです。 人件費が年々上昇し、製造会社の利益は減少することはしばしばあります、グローバル市場での激しい競争の影響を受け、工場はいかにコスト効率よく生産業務を完了させるかが求められています。企業が生産性を向上させ、コストを削減し、競争力を維持するためには、インテリジェントな工場搬送、市場の動きに合わせてフレキシブルに対応できる生産体制が不可欠です。
スタンダードロボット、半導体現場生産の柔軟性アップを実現
適応性が高い
半導体産業チェーンは長く複雑で、1つのウエハー製造ラインには10数個の主要な装置があります。 半導体ウエハー工場は、クリーン度、高価で壊れやすい商品、材料ハンドリング時の揺れに対する要求、搬送装置の安定性に対する要求が非常に高いのです。
離散的で複雑な生産工程、高い生産柔軟性、高い運用精度が求められる半導体業界に対して、スタンダードロボットは効率的で安定した「工場倉庫型」のフレキシブル・ロジスティクス・ソリューションを提供しています。これにより、倉庫への原材料の輸送、生産ラインへの準備材料の輸送や移送、倉庫からの完成品の輸送に加え、フロア横断、工場横断の輸送が可能となり、生産効率の向上と人件費の削減が実現します。
スタンダードロボットのOasisシリーズは、マルチセンサーフュージョン技術により、人と機械の協働や柔軟な物流のニーズに応えています。同時に、レーザーSLAMナビゲーションにより、現場の改造が一切不要であるため、迅速にロボットを設置することができます。複数のセンサーがリアルタイムで周辺環境をスキャンし、インテリジェントな障害物回避とバイパスにより、途切れることなくタスクを実行することが可能です。Oasisシリーズは最高で停止誤差±5mmを実現でき、正確にラインとドッキングできるため、ドッキングに必要な時間が少なく、到着後すぐに作業を開始可能、また、Oasisシリーズはクラス100のクリーンルームにも対応しており、そのまま半導体現場でご利用できます。
迅速な展開
自社開発のレーザーSLAMナビゲーションにより、インフラ改造を伴わない迅速な展開と環境マップの自動生成を実現。
正確な位置決め
新世代の測位アルゴリズムで、長い廊下での安定走行、動的な環境変化、リアルタイム地図更新機能、ロボットの継続的で安定した動作を保証し、お客様に継続的な価値を創造します。
安心・安全
LIDAR、3Dビジョンセンサー、セーフティタッチエッジ、近接センサーを搭載し、低い物体や平面障害物を3次元で検知し、安全性を向上させることができます。
ロボットアーム拡張
ロボットアームは、ロボットプラットフォームでの作業範囲を大幅に広げ、より柔軟な使い方が可能になり、ロボットアームの使用効率も向上します。
半導体パッケージング事例
中国の大手半導体検査装置メーカーのフレキシブル物流プロジェクトでは、元の工場で仕分けしたウェハーを、新工場が稼動した後も工場全体で輸送してほしいという要望がありました。新旧ファブ間の距離が長く、手作業による材料の取り扱いは時間がかかり、非効率で不安定なため、生産リズムの安定性に潜在的なリスクがあり、長距離輸送、壊れやすい材料、複数のラインでの装置・設備のドッキングなどの課題がありました。
スタンダードロボットは、同社のプロジェクト工程と現場での機器のレイアウトを基に、実際のニーズに合ったスマートな搬送ソリューションを提案しました
導入したのは移動型ロボット「Oasis」の上に自由度の高い協働ロボットアームを搭載し、搬送ロボットと協働ロボットの機能を併せ持つ「Oasis＋協働ロボット」です。ウエハーのハンドリングとロード/アンロード、工程間マガジンのハンドリングとロード/アンロード、工程間搬送とロード/アンロードのための自動機ドッキング、補助材料の分配に使用できます。
ソリューションのハイライト
01 多機種への高い適応性
Oasis 600ULは、協働ロボットアームを搭載した複合ロボットで、到着したシール材をスマート棚から焼成炉に自動供給し、焼成終了後にAMRから窒素棚に自動排出することにより、1回に18スタックのシール材を取り扱うことができます。
02 インテリジェントなストレージ管理を実現するウェアハウスのアップグレード
スタンダードロボットは、お客様が加工材料の保管・管理を行うためのインテリジェントラックの仕様を提案しました。 キャッシュボックスの各グループにはタッチパネルが装備されており、各収納スペースの表示パネルログを表示することができます。各セルの横には表示灯があり、現在のセル内の対応するトレイの状態をも表示可能
03 自動ドア改造、全自動ロード＆アンロード
このプロジェクトで、お客様のためにアップグレードソリューションを設計し、材料カートドア、オーブンドア、窒素キャビネットドアを自動ドアに変更し、AMR自動ロード・アンロードと併用できるようにしました。FMS采配システムを通じて、協働ロボットを配備してハンドリングタスクを実行し、協働ロボットが到着すると、該当マシンにドアを開けるように要求し、ロボットアームが自動的に材料をロードするようにしました。
04 MESへのドッキング、インテリジェントタスクスケジューリング
協働ロボットは、FMSディスパッチシステムを介してお客様の倉庫管理システムMESに接続することができ、MESシステムが材料分配要求を送り、AMRがタスクを実行し、ウェハーボックスを対応する機械に搬送するようインテリジェントにディスパッチします。
スタンダードロボットは、AMR技術の優位性をベースに、ハード・ソフトの統合標準化されたカスタマーサービスを備え、FMS配車システム、中央制御システム、RIoTシステム、カスタマイズ呼び出し機能などのシステム機能を組み合わせています。さらに、外部連携はModbus、PLC連携、APIなど、主要な方法であらゆる外部機器との連携が可能になります、業界のニーズと現場に対応した柔軟な産業物流ソリューションを革新的に提案します。
スタンダードロボットは、フレキシブル・ロジスティクス・ソリューションの導入により、工場の倉庫ラインの物流自動化、生産・物流データのリアルタイムでの追跡・記録、生産データの可視化、工場の物流スタッフ50人以上の省力化、同社の生産効率の大幅な向上を実現しました。