世界中でウエハー不足から、サプライヤーの買い占め、国際情勢が楽観視できない場面まで来ています、世界的に半導体原材料の不足が深刻化しており、チップ不足問題は強まっています。 家電製品や自動車製造など、様々な業界で、半導体の需要が増加しています、ウエハー製造からパッケージング、どのように迅速に生産能力を高めるのが、半導体業界全体の問題となり、解決しなければならない課題でもある。スタンダードロボットは1つのソリューションで、半導体業界の工場と生産能力を拡大するための重要な一歩をサポートしています。

プロジェクトの背景：
このプロジェクトのクライアントは中国の半導体業界のトップ3企業で、ウェハー倉庫でのウェハー搬送にAMR（自律移動型ロボット）を使用したいとのことでした。手動でウエハーを仕分けし、PADからAMRを呼び出して仕分け後のウェハーを工場全体に移動させるという要望です。

長い廊下、複数の工場、拠点間の移動、高価で壊れやすいウエハーの性質など、プロジェクトは単純なようですが、実現には困難が伴います。

導入内容

AMR: Oasis 300UL-SRL（昇降回転モジュール付き自律移動型ロボット）x　34台

PAD：8台

自動充電器：10台

手動充電器：4台

サーバーＰＣ：1台

ソフトウェア：FMSディスパッチシステム、セントラルコントロールシステム、マトリックス単体制御システム、カスタマイズされた専用コール機能

プロジェクトハイライト

搬送時の振動によるウェハーの揺れを防ぐため、スタンダードロボットはお客様の材料台車を衝撃吸収スプリングでカスタマイズし、台車は貴重なウェハーを十分に保護するために密閉されました。

搬送工程におけるリフト、自動ドア、カーゴシャワーの改造、ワイヤレスドッキングモジュールの追加により、AMRシステムとモジュールをワイヤレスでドッキングし自動開閉を実現、ユーザーの要望に応じた効率的な搬送を可能にします。

自動運転アルゴリズムをバージョンアップし、環境に適応した新世代のアルゴリズムを採用することで、「StandardAMR」は長い廊下でも正確に位置決めし、安定した搬送が可能になりました。

プロジェクト価値

1. ウエハーのクロスファブ自動搬送を実現し、工場の人員を51人削減。

2. 現場でのマテリアルハンドリングの効率化

3.自動化の向上、現場スタッフの作業強度や疲労の軽減。

4.各AMRの状態をリアルタイムに把握できる、完全情報化された機器管理ソリューション。

本事例は、半導体製造工程におけるAMRの典型的な適用例で、ウエハーの搬送にAMRを用いることで、搬送作業者の大幅な削減、作業の効率化、新工場の人員採用難の問題を解決し、自動化の高度化、コストダウン、効率化という目的を達成しました。 スタンダードロボットは、半導体業界の多くのトップ企業にサービスを提供しており、今後も常に半導体企業の立場に立ち、常に革新的なソリューションを提案し続けるでしょう。